凈化車(chē)間主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為凈化車(chē)間。按照慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,凈化車(chē)間無(wú)塵是必然的要求。
凈化車(chē)間每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的*。目前凈化車(chē)間應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于*,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱(chēng)的1K級(jí)別。
為了保持凈化車(chē)間內(nèi)的潔凈度,控制人員人數(shù)是必要的。在考慮靜電前提下,對(duì)人員服飾等也有嚴(yán)格管理方式。
1.凈化工程潔凈服上身和下身宜分離,穿著時(shí)要求,上衣必須放在下身里。
2.穿著的布料要求防靜電,潔凈室內(nèi)相對(duì)濕度較低。防靜電衣料可以將微粒子附著率降到90%。
3.根據(jù)企業(yè)自身需要,潔凈等級(jí)高的潔凈室會(huì)用到披肩帽,其下擺應(yīng)放在上衣之內(nèi)。
4.有些手套會(huì)有滑石粉,進(jìn)入室內(nèi)前必須將滑石粉去除。
5.新買(mǎi)的潔凈服一定要先清洗之后再穿,有條件的*用無(wú)塵水洗滌。
6.為了保證凈化工程凈化效果,1-2個(gè)星期必須清洗一次潔凈服,整個(gè)過(guò)程要在潔凈區(qū)進(jìn)行,避免依附微粒子。